ICP霧化器采用嚴格的標準設計和制造，操作簡單、重現性好。它們可為固溶物低于1%的水溶液樣品提供靈敏度和精度。在ICP裝置中常采用氣動霧化裝置，一般要求霧化器能采用較低的載氣流量，如0.5-1 L/min、具有較低的樣品提升量，如0.5-2 ml/min、較高的霧化效率、記憶效應小、霧化穩定性好，且適于高鹽分溶液霧化及較好耐腐蝕能力，這些要求給霧化器的設計、制造帶來苛刻的限制。ICP所用的氣動霧化器有兩種基本的結構：同心型霧化器和正交型霧化器。
ICP霧化器在使用時發現被顆粒堵塞怎么辦？
a.將進樣管拆除，霧化器噴嘴朝上在木質表面輕輕敲擊以使顆粒堵塞松散并在重力作用下排出毛細管。
b.在噴嘴處接入壓縮空氣(15-30 psig)反吹、嗩嘴和環面，利用手指堵住進樣口和載氣口，突然釋放進樣口以清除毛細管顆粒堵塞或突然釋放載氣口以清除載氣顆粒堵塞。
c.在噴嘴處反向通入異丙醇使顆粒流出。
d.利用熱水浸泡霧化器以使聚合物顆粒軟化以疏通堵塞。
e.對于硅類顆粒的堵塞，可以使用HF(3-5%)清洗，吸取清洗液5-10秒后立即用清水沖洗。利用顯微鏡檢查堵塞狀況，重復3-5次。 (注意: 1、HF有毒性，使用時應具備相應的保護措施。2、HF清洗時間和濃度要準確控制，清洗完畢后要*清除HF并使霧化器干燥以防止HF對石英的腐蝕。)
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